WWW.UK.X-PDF.RU

БЕЗКОШТОВНА ЕЛЕКТРОННА БІБЛІОТЕКА - Книги, видання, автореферати

 
<< HOME
CONTACTS




Продажа зелёных и сухих саженцев столовых сортов Винограда (по Украине)
Тел.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
Розовые сорта
Белые сорта
Чёрные сорта
Вегетирующие зелёные саженцы

Продажа зелёных и сухих саженцев столовых сортов Винограда (по Украине)
Тел.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
Розовые сорта
Белые сорта
Чёрные сорта
Вегетирующие зелёные саженцы
Pages:     | 1 |   ...   | 8 | 9 || 11 | 12 |   ...   | 18 |

«В. І. Перекрестов ПРАКТИЧНІ МЕТОДИ ЕЛЕКТРОННОЇ МІКРОСКОПІЇ Навчальний посібник Суми Сумський державний університет УДК 621.385.833(9758) ББК 22.33397 П27 Рецензенти: О. С. Кузема – ...»

-- [ Страница 10 ] --

Рисунок 7.8 – Пристрій для полірування об’єкта дослідження струменем (1 – електроліт; 2 – джерело живлення реле 3 для вимкнення пристрою; 4 – об’єкт стоншення; 4 – контакт, через який проходить струм при появі в об’єкті 4 отвору) дослідження доводять до необхідної товщини менш грубим методом, наприклад, із використанням полірування без руху електроліту.

Необхідно також зазначити, що якість полірування поверхні в заглибленні, як правило, недостатня, щоб можна було використовувати струмінь на завершальних етапах виготовлення фольги. Крім того, існує проблема регулювання процесу полірування, тому що у центрі заглиблення отвір формується досить швидко.

Оскільки маса вихідного зразка не відіграє ніякої ролі в процесі електрополірування струменем, можна використовувати діаметр об’єкта, який відповідає діаметру об’єктотримача ПЕМ.

У багатьох випадках хімічна активність електроліту призводить до руйнування тримача, що використовується під час полірування. Тому був розроблений універсальний метод швидкісного електрополірування диска з використанням спеціального тефлонового тримача, що повністю ізолює від електроліту його струмопровідні частини (рис. 7.9).

Рисунок 7.9 – Тифлоновий тримач для швидкісного полірування (1 – об’єкт до стоншення; 2 – рухомий вкладиш; 3 – електропровідник; 4 – гвинт; 5 – тифлоновий корпус) При цьому краї об’єкта завдяки наявності виступу в тримачі захищені від хімічного травлення, що дозволяє отримати самопідтримувальний варіант.

При проведенні стоншення необхідно пам’ятати про те, що отвір дуже малого діаметра може з'явитися в результаті травлення матеріалу об’єкта навколо порівняно великого неметалевого включення. У цьому випадку товщина об’єкта біля країв отвору ще занадто велика і електрополірування потрібно продовжувати далі, не звертаючи уваги на збільшення розміру отвору. Разом із тим у об’єктах із початковою товщиною ~0,12 мм допустимий діаметр отвору не повинен перевищувати 1 мм.

7.2.3 Хімічне полірування Розглянемо ще один досить простий метод стоншення.

У ньому використовується чисто хімічне полірування, тобто полірування без наявності електричного струму.

Разом із тим принцип полірування в обох випадках подібний. Оскільки при хімічному поліруванні відсутня напруга, то природно, що розчин, у якому здійснюється хімічне полірування, хімічно більш активний, ніж розчин, призначений для електрохімічного полірування. Із цих причин хімічне полірування є менш контрольованим методом виготовлення тонкої фольги, ніж електролітичне.

Крім того, необхідність нагрівання до порівняно високих температур розчину для хімічного полірування може призвести до деяких змін структури зразків матеріалів із низькою температурою плавлення. Раніше хімічне полірування використовувалося в основному для попереднього стоншення масивних об’єктів. На сьогоднішній день його застосовують і для прикінцевих етапів стоншення. У подальшому ми розглянемо саме цей бік застосування хімічного полірування. Хімічне полірування найбільш поширене для стоншення діелектричних керамічних матеріалів і керметів. Іноді можна виготовити тонку фольгу з листів, просто занурюючи їх у полірувальний реактив або ж утримуючи на поверхні реактиву. Наприклад, такий підхід використовують при виготовленні фольги зі сплавів Сu–Ni–Со або з Ge і Si. Іноді корисно проводити остаточне стоншення хімічним поліруванням у сильно розбавленому розчині. Разом із тим бажано мати більш дієвий контроль над процесом хімічного полірування, ніж можливо у цій простій методиці. Ця вимога призвела до розроблення різних модифікацій даного методу. Так, в окремих випадках об’єкти у вигляді пластин ексцентрично обертаються у власній площині. У цьому випадку відбувається рух реактиву відносно площини об’єкта по колу. Через це на окремих ділянках цього кола утворюються отвори, що є сигналом для припинення полірування. Для оптично прозорих об’єктів контроль процесу стоншення можна проводити на основі інтерференції світла. На рис. 7.10 схематично поданий пристрій для хімічного полірування з оптичним Рисунок 7.10 –Схема пристрою для хімічного полірування (1 – об’єкт стоншення; 2 – насадка з діаметром отвору 1 мм; 3 – скляна трубка; 4 – пластикова трубка; 5 – отвір для полірувального розчину; 6 – вікно для входження сфокусованого світла) контролем. Через отвір 5 з бака надходить розчин, який призначений для хімічного полірування об’єкта 1.

Сфокусоване світло через вікно 6 поширюється по скляній трубці 3 і потрапляє на об’єкт дослідження через отвір у насадці 2. За зміною кольору світла, що проходить через об’єкт, можна контролювати процес стоншення. Так, добре відомо, що колір стоншеного об’єкта змінюється від червоного до оранжевого і жовтого, коли товщина зразка зменшується від 1 до 0,1 мк. При цьому завершальний етап стоншення необхідно проводити з меншою швидкістю.

Для цього об’єкт виймають із тримача установки і занурюють у реактив на короткий час.

В іншому способі полірування об’єкт повністю занурюють у холодний реактив (рис. 7.11). Гарячий струмінь реактиву виникає завдяки його конвекційному потоку від нагрівача 5 і спрямовується на об’єкт 2 через трубку 4, також занурена в розчин. Цей метод був застосований для стоншення об’єктів із MgO і титанату барію з достатньо високим контролем процесу стоншення.

Рисунок. 7.11. – Схема пристрою для хімічного полірування конвекційним потоком (1 – розчин для полірування; 2 – об’єкт стоншення; 3 – тримач об’єкта;

4 – трубка для конвекційного потоку; 5 – нагрівач) При цьому не виникають труднощі, пов’язані з виготовленням та монтажем магістралей між ємностями, насосами та ін., які притаманні іншим способам струминного полірування. Можна не сумніватися, що хімічне полірування набуде широкого використання при виготовленні зразків, особливо з матеріалів, які не розщеплюються на пластинки або які не проводять електричний струм.

Для виготовлення тонких фольг застосовують й інші хімічні реакції. Так, для отримання тонких пластин кристала алмазу можна використовувати дозоване окислення при 700 °С. В іншій методиці для вивчення окислів повністю окислюють тонку фольгу металу або окислюють поверхневий шар, який потім відділяють від основи. Такий підхід отримання стоншених об’єктів є ефективним, якщо немає необхідності вивчати структуру, типову для масивного матеріалу. При цьому подібну методику отримання тонких фольг можна використовувати не лише за допомогою реакції окислення, а й інших реакції.

Для найбільш поширених матеріалів у табл. 7.1 наведені хімічний склад травників для електрополірування, а також методи і режими електрополірування.

–  –  –

7.3 МЕТОД ВИГОТОВЛЕННЯ ОБ’ЄКТІВ

РОЗПИЛЕННЯМ РЕЧОВИНИ ІОНАМИ

АБО НЕЙТРАЛЬНИМИ АТОМАМИ

Аналізуючи таблиці 7.1 та 7.2 можна говорити про те, що хімічні методи стоншення потребують значної уваги щодо техніки безпеки, а також потребують розроблення технології стоншення для кожного окремого випадку.

Через це заслуговує на увагу більш екологічно чистий і універсальний метод стоншення об’єктів за рахунок розпилення речовини при її бомбардуванні відносно високоенергетичними іонами або нейтральними атомами.

Добре відомо, що процес розпилення відбувається за умови, коли енергія атомів або іонів, що бомбардують об’єкт, перевищує деяку граничну енергію. Схема універсальної установки для стоншення об’єктів методом розпилення подана на рис. 7.12.

Для реалізації розпилення речовини відносно високоенергетичними частинками (іонами або атомами з енергією, що перевищує 40 – 50 еВ) необхідно, перш за все, створити вакуумні умови, що дозволяють безперешкодно їм рухатися від іонної гармати до об’єкта стоншення. Виходячи з цього, пристрій для стоншення розміщують в вакуумній камері 9, укомплектована патрубком для напуску інертного газу 8, а також патрубком 7 для підключення системи відкачування (див.

рис. 7.12). Сам об’єкт стоншення 5 повинен, з одного боку, охолоджуватися, а з іншого – для більш однорідного стоншення обертатися відносно потоку іонів або атомів.

При цьому для збільшення швидкості розпилення потік високоенергетичних частинок 4 повинен бути орієнтований відносно поверхні об’єкта приблизно під кутом 5–8о. Як правило, в якості джерела іонів використовують гармату іонів інертних газів.

Рисунок 7.12 –Схематичне зображення установки для стоншення об’єктів методом розпилення речовини (1 – іонна гармата; 2 – лектронна гармата; 3 – потік електронів, 4 – потік іонів або атомів; 5 – об'єкт стоншення; 6 – танга для охолодження об’єкта, а також для його обертання; 7 – атрубок для отримання вакууму; 8патрубок для напуску інертного газу; 9 – корпус вакуумної камери).


Купить саженцы и черенки винограда

Более 140 сортов столового винограда.


За умови, коли об’єкт дослідження є провідником можна проводити його розпилення іонами. У разі стоншення діелектриків використовують бомбардування об’єктів потоком нейтральних атомів. Для переведення прискорених іонів у нейтральний стан використовують додаткову гармату електронів 2, сспрямованих на пучок іонів 4. Оскільки маса електронів значно нижча за масу іонів, останні при взаємодії з електронами не змінюють свого імпульсу. Завдяки цьому потік іонів перетворюється на потік нейтральних атомів при збереженні енергії і траєкторії руху. Ця обставина виключає дію зарядженої поверхні діелектриків на рух нейтральних атомів, що розпилюють об’єкт. При цьому для зменшення температури об’єктів стоншення і мінімізації структурних змін останнього передбачено охолодження тримача 6 рідким азотом.

Як правило, прискорююча іони напруга, змінюється в межах від 3 до 10 кВ, оптимальна напруга становить ~ 5 кВ. При цьому кут падіння може змінюватися в межах ±15, що відповідає на найвищі швидкості розпилення. Так, при збільшенні кута падіння до 45о швидкість розпилення може збільшуватися. Разом із тим може також збільшуватися глибина проникнення частинок в об’єкт, що підвищує шорсткість стоншеного об’єкта за рахунок селективного його розпилення (селективного стоншення).

Свого часу Сумський завод електронних мікроскопів виготовляв вакуумні установки ВУП-5М, які були укомплектовані пристроями для стоншення об’єктів під дією іонів інертного газу, що генеруються тліючим газовим розрядом. Схематичне зображення цього пристрою наведене на рис. 7.13.

Пристрій розміщується у вакуумній камері 1 установки ВУП-5М. Охолодження об’єкта стоншення 9 відбувається завдяки рідкого азоту, що заливається в ємність 7. Через тримач 8 охолодження передається до об’єкта стоншення 9, розміщеного в додатковій скляній камері 2. З двох боків відносно об’єкта розпилення через скляну камеру 2 підведені електроди анодів 3. Після отримання в вакуумній камері 1 вакууму, через патрубок 5 в камеру 2 проводиться напуск інертних газів. Камера 2 не є герметичною.

Надмірний тиск усередині 2 сприяє витіканню надлишків інертного газу з цієї камери і надалі цей газ відкачується за допомогою вакуумного насоса через патрубок 4. Після стабілізації тиску інертного газу в камері 2 на рівні 4 – 6 Па включається розряд між катодом (об’єктом дослідження) 9 і двома анодами 3. Іони інертних газів бомбардують поверхню об’єкта 9, що призводить до його розпилення і відповідного стоншення. Необхідно звернути увагу на деякі недоліки цього методу. Під час проведення стоншення розпилений матеріал об’єкта та його тримача конденсується на поверхню камери 2, що робить її непрозорою. Через ці обставини будь-який візуальний контроль за процесом стоншення унеможливлюється. Крім того розпилений матеріал тримача 8 може потрапляти на об’єкт дослідження, змінюючи його елементний склад.

5 Рисунок 7.13 –Пристрій для стоншення об’єктів методом іонного розпилення з використанням газового розряду (1 – акуумна камера; 2 – скляна камера; 3 – аноди;

4 – патрубок для вакуумної відкачки; 5 – патрубок для напуску інертного газу; 6 – ємність для рідкого азоту7;

8 – охолоджений тримач об’єкта 9)

–  –  –

Рисунок 7.14 – Схематичне зображення пристрою для стоншення об’єктів за допомогою магнетронного розпилювача (1 – магнітна система; 2 – охолоджуючий водою тримач мішені; 3 – титанова мішань; 4 – об’єкт стоншення; 5 – зона розпилення) На основі ВУП-5М можна провести стоншення об’єктів з використанням магнетронних розпилювачів.

На рис. 7.14 схематично подано варіант пристрою для подібного стоншення. По суті, основою пристрою є магнетронний розпилювач із магнітною системою 1. На охолодженому водою тримачі 2 розміщена мішень розпилення 3, виготовлена з титану. В титанових мішенях робиться круглий отвір із виступом для кріплення об’єкта стоншення 4 безпосередньо у зоні розпилення 5.

Послідовність реалізації процесу стоншення така. Після отримання у вакуумній системі вакууму відключається від камери система відкачки і проводиться напуск робочого газу (найчастіше аргону) до тиску приблизно 1 Па. Потім включається магнетронний розпилювач. Після цього спостерігається тимчасове погіршення вакууму, а потім – зворотний процес поступового його підвищення.

Це відбувається завдяки поглинанню залишкових хімічно активних газів плівкою титану, що формується за рахунок конденсації розпиленого титану на внутрішній поверхні вакуумної камери. Процес підвищення вакууму відбувається до того часу, поки не буде поглинута основна частина хімічно активних залишкових газів. У подальшому розпилення об’єкта стоншення буде відбуватися в чистому інертному середовищі, що виключає формування домішкових сполук. Необхідно зазначити, що швидкість розпилення розміщеного в поглибленні об’єкта буде вища ніж швидкість розпилення титану. Ці обставини дозволяють говорити про те, що забруднення титаном об’єкта буде мінімальним. При цьому, як показує досвід стоншення об’єктів цим методом, можна візуально контролювати процес стоншення через скляну вакуумну камеру. Так, у цьому випадку поява отвору в об’єкті стоншення легко фіксується за допомогою характерних змін розподілу свічення розряду в околі отвору. Необхідно підкреслити, що стоншення при магнетронному розпиленні має перевагу порівняно зі стоншенням за допомогою іонної гармати. Так, у випадку магнетронного розпилення можна використовувати досить малі енергії іонів (~80 – 60 еВ), що мінімізує радіаційне пошкодження поверхні об’єкта.

Стоншення за рахунок розпилення іонами або атомами можна здійснювати не лише щодо суцільних матеріалів, геометричні характеристики яких відповідають тримачу ПЕМ. Так, в окремих випадках виникає необхідність дослідження у ПЕМ волокон та порошків. Спочатку волоконний матеріал або порошок заливають епоксидним клеєм, а потім заповнюють цією сумішшю бронзову трубку з діаметром 3 мм. У подальшому трубку ріжуть на тонкі диски і послідовно стоншують механічно, а потім – за допомогою розпилення нейтральними атомами.



Pages:     | 1 |   ...   | 8 | 9 || 11 | 12 |   ...   | 18 |
Похожие работы:

«БіБліотечка фізико-математичної школи В.В. Прасолов Задачі З Планіметрії Переклад з російської Андрія Кравчука тернОПілЬ наВчалЬна КнИГа — БОГдан УДК 514.112 ББК 22.151.0 П70 Серію «Бібліотечка фізико-математичної школи» засновано 2010 року Перекладено за виданням: В.В. Прасолов. Задачи по планиметрии: Учебное пособие. — 6-е изд., стереотипн. — М.: МЦНМО, 2007. — 640 с.: ил. Прасолов В. В. П70 Задачі з планіметрії / В. В. Прасолов ; пер. з рос. А. Кравчука. — Тернопіль : Навчальна книга –...»

«ISSN 2224-5979 Конференція присвячена 210-річниці від дня народження Михайла Остроградського 21–24 вересня 2011 р. м. Кременчук МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ, МОЛОДІ ТА СПОРТУ УКРАЇНИ КРЕМЕНЧУЦЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ МИХАЙЛА ОСТРОГРАДСЬКОГО ХАРКІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ В. Н. КАРАЗІНА ЛЬВІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ІВАНА ФРАНКА «Математичне моделювання та математична фізика» Тези доповідей Конференція присвячена 210-річниці від дня народження Михайла...»

«ТЕРНОПІЛЬСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ імені Івана Пулюя Кафедра фізики Самостійна робота студентів над курсом фізики Методичні рекомендації Тернопіль – 2011 САМОСТІЙНА РОБОТА СТУДЕНТІВ НАД КУРСОМ ФІЗИКИ: МЕТОДИЧНІ РЕКОМЕНДАЦІЇ / ПУНДИК А.В., УКЛАДАЧ. – ТЕРНОПІЛЬ: ТНТУ, 2011. – 23 С. Посібник містить інформацію про структуру курсу фізики, що читається за навчальними планами підготовки бакалаврів, а також методичні рекомендації по організації аудиторних занять (лекційних, практичних,...»

«Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України Кам’янець-Подільський національний університет імені Івана Огієнка ЗБІРНИК НАУКОВИХ ПРАЦЬ КАМ’ЯНЕЦЬ-ПОДІЛЬСЬКОГО НАЦІОНАЛЬНОГО УНІВЕРСИТЕТУ ІМЕНІ ІВАНА ОГІЄНКА Серія соціально-педагогічна В и п у с к Кам’янець-Подільський „Медобори-200 УДК:378.4(477.43):376.1(082) ББК:74.58(4 Укр) ЗРецензенти: М.О. Супрун доктор педагогічних наук, професор кафедри психологічних дисциплін національної академії внутрішніх справ. П.С. Атаманчук доктор...»

«Міністерство освіти і науки України Національний університет харчових технологій 80 МІЖНАРОДНА НАУКОВА КОНФЕРЕНЦІЯ МОЛОДИХ УЧЕНИХ, АСПІРАНТІВ І СТУДЕНТІВ “Наукові здобутки молоді – вирішенню проблем харчування людства у XXI столітті” Частина 10–11 квітня 2014 р. Київ НУХТ Програма і матеріали 80 міжнародної наукової конференції молодих учених, аспірантів і студентів “Наукові здобутки молоді – вирішенню проблем харчування людства у ХХІ столітті”, 10–11 квітня 2014 р. – К.: НУХТ, 2014 р. – Ч.4....»

«Проблеми екології та енергозбереження в суднобудуванні VII міжнародна науково-технічна конференція Оцінка природно-ресурсного потенціалу Миколаївської області і проблеми забезпечення його ефективного використання УДК 504.03 Автор: Літвак Ольга Анатоліївна Україна, Національний університет кораблебудування імені адмірала Макарова Природно-ресурсний потенціал – це сукупність природних ресурсів і природних умов, які знаходяться у певних географічних межах, що забезпечують економічні, екологічні,...»

«Використання матеріалів проектних робіт з історії українського козацтва у навчальному процесі Методичний посібник М. Ізяслав Ізяславський райметодкабінет Великорадогощанська ЗОШ І-ІІ ступенів Використання матеріалів проектних робіт з історії українського козацтва у навчальному процесі Методичний посібник М. Ізяслав Використання матеріалів проектних робіт з історії українського козацтва у навчальному процесі. Колективна робота педагогів Великорадогощанської ЗОШ І-ІІ ступенів. Керівник: Гаврилюк...»

«Додаток 1 Липоводолинська спеціалізована школа І-ІІІ ступенів Липоводолинської районної ради Сумської області Цикл міні-інформацій для уроків на тему “Фізика, здоров’я,навколишнє середовище” 2009р. Рецензент Іщенко В.М. — завідуючий методичним кабінетом відділу освіти Липоводолинської райдержадміністрації. Автор Тимошенко С.О. – вчитель фізики загальноосвітньої школи І-ІІІ ступенів смт.Липова Долина. Фізика. Методичний посібник для вчителів. Формування здорового способу життя на уроках фізики....»

«НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ НАЦІОНАЛЬНА БІБЛІОТЕКА УКРАЇНИ імені В.І. ВЕРНАДСЬКОГО ІНСТИТУТ АРХІВОЗНАВСТВА ТОЛУБИНСЬКИЙ Всеволод Іванович (27.03.1904 – 17.04.1988) – теплофізик і теплоенергетик, академік АН УРСР (1964) Фонд № 172 Опис № 1 Наукові праці та робочі матеріали, документи біографічні та фотодокументи, документи з діяльності за 1952 – 1988 рр. Київ 2007 Зміст Список скорочень..3 Передмова..4 Розділ І. Наукові праці та робочі матеріали.7 Розділ ІІ. Документи біографічні та...»

«І.В. Кузнєцова. Про один із сучасних підходів до вивчення іноземних мов у ВНЗ УДК 81.111 (07) І.В. Кузнєцова, кандидат філологічних наук, доцент (Житомирський державний університет) ПРО ОДИН ІЗ СУЧАСНИХ ПІДХОДІВ ДО ВИВЧЕННЯ ІНОЗЕМНИХ МОВ У ВНЗ Стаття присвячена важливому питанню про розширення форм вивчення іноземних мов у ВНЗ згідно з потребами та інтересами студентів, а саме розширенню сітки факультативів з іноземних мов та особливостями їх роботи. Західноєвропейський досвід вивчення...»




Продажа зелёных и сухих саженцев столовых сортов Винограда (по Украине)
Тел.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
Розовые сорта
Белые сорта
Чёрные сорта
Вегетирующие зелёные саженцы


 
2013 www.uk.x-pdf.ru - «Безкоштовна електронна бібліотека»