WWW.UK.X-PDF.RU

˲ - , ,

 
<< HOME
CONTACTS




( )
.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
׸



. +420704758365

( )
.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
׸
Pages:     | 1 |   ...   | 2 | 3 || 5 | 6 |   ...   | 14 |

: 539.213; 539.23+621.793.79; 539.26 ԲͲ Ҳ ˲ Dz Вв W-Ti-N Ta-Si-N ...

-- [ 4 ] --

, , - , . , . :

, , W-Ti-N Ta-Si-N , . - ( ), Au GaAs GaN.

:

W-Ti-N Ta-Si-N , , , , .., .

(, , , , ) ( , , , , ) W-Ti-N Ta-Si-N, .

, W-Ti-N Ta-Si-N , /, Au(Ag)//, .

(), .

IJ 2

˲

   

, , ᒺ , , .

, , , , .

Գ - ᒺ , : ( ), ( ) ( ). , , : ( ), ( ), ( ), ( ), - ( ), ( , , ), ( ), ( , / /), - ( 㳿 , ).

2.1.

2.1.1. ϳ .

, III-V: GaAs GaN.

ᒺ GaAs ( ), ( 450 ) . , (Cr) (100), GaAs : 1) = 4.48-7.18108 , ND = 1.5-8.0104 -2; 2) = 1.86-1.99107 , ND = 0.99-1.08104 -2. , 11 2, .

GaN ( Mg), p ~ 11017 -3, (MOCVD) (Al2O3). , 0.50.5 2, , .

, ( - C2HCl3;

- CH3COCH3; 2- - CH3CH(OH)CH3), .

, :

: : : 2- = (1 : 1 : 1) 5 . ( 75);

2- 5 . ( 85);

2- 5 . ( );

5 .;

.

GaAs, :

NH4OH : H2O2 : H2O = (20 : 7 : 973) 2 .;

2 .;

NH4OH : H2O = (1 : 10) 15 .;

.

GaN, :

10% (NH2)2CS : HCl : 15% H2O2 = 20 : 1 : 1;

in-situ Ar+ (U = 300 , t = 60 .).

ϳ , , .

2.1.2. .

, . (), .2.1.

, , . -, 쳿 㳿 , , , , , , . , , 䳺 , (. .2.1). : , , , , . ( 2 , ), , , ( 50-100 ) .

   

.2.1 (). :

- () - ;

E - ; B - .

2.1.

   

   

- ( 5-6 ) , .



140 .


-, , , . , . -, , , , .

, , : , , , . , :

1. , . (), , (, , , ..). (K) 㳿 , , [49]:

3mi ma Ei Na K= =2 = K ( Ei ) (2.1) N i (mi + ma ) 2 2 E s Na - ; Ni - , ; mi; ma - , ; , ma/mi; Ei - ; Es - . Es Ei Ei*, [49]:

515a 2 Z i Z a (mi + ma ) * Ei = (2.2) ma 2/3 2 / 3 1 / 2 a = 0.8853 ao ( Z i + Za ) - -; ao = 5.2910-11 - ; Zi, Za - .

(np) (m), , Wi = jiUi ( ji, Ui , ), . Ei = eUi, 㳿 . m = K(Ei)Aji/(NAe) [48], A - ; NA - , :

K ( Ei ) A np = (2.3) Ei N A , 㳿 . , 㳿 Ei*, (2.2), . , 㳿 . Ei Ei*, 㳺 , [49].

   

K - (. (2.4)).

, , , : ) 㳿, , , , ; ) , , 㳿 ; ) , , , . , . , , , , .., , .

2. , .

[48], ( , 㳿 ), ( ). 糿 (). ϳ 糺 , 㳿 (, , . , ( , ). , (ma mg), .

:

2.3 ao K ( p) = K ( Ei ) (2.7)

2.3 ao + po d La K(Ei) - 糿; o - 273 ;

po = 273p/T - , T = 273 ; La - ; d .

pod La. pod La, , (2.7) K ( p ) = K ( Ei ). ma mg, , pod La, . , , :

K ( p ) = 0.5 K ( Ei )[1 + exp( po d / aT )] (2.8) T - .



Pages:     | 1 |   ...   | 2 | 3 || 5 | 6 |   ...   | 14 |
:

² ȯ ֲ Ͳ Ͳ ² ȯ ֲ Ͳ Ͳ 4 4 ȯ 201 621.43 32-26.8-68.49 ³ . .: ², 2013. . 44. 299 . , - , ...

ֲ Ͳ Ͳ ϒ в Ͳ 8.05050403 ³ ϲ 2013 8.05050403 ³ ...

̲Ͳ ² , IJ ֲ Ͳ ò _ .. 2013 . ò Dz Ͳ ֲ 6.051701 㳿 㳿 7 19 2013 . ...

371.32:53 в ί Ҳ ϲ ’Ͳ Բ .., , Գ. , . : ,...

ֲ Ͳ ² ˲Ͳ 531.3:621.852 ί Ҳ ̲ Ҳʲ ˲Ͳ Ѳ 05.02.09 2010 . ̳ : ...

̲Ͳ ² , IJ .. Գ- Բ ² 2 (2) 2011 2(2), 2011 .. - .. : .. - , ...

˲Ͳ Ʋ ӯ ϲ 82-97 86(4) 61 .. : - ³ ; ; , , . . . , , ³,...

2012 . , . . ' () [] : / . . , . . , . . ; . : , 2006. 108 . .: . 105., . . . - [] : (.-. .) / . . ; [. . ., . .] ;...

̲Ͳ ² ֲ Ͳ ò .. () 2013 . Ͳ Ͳ ֲ 6.050701 㳿 , , . 2...

̲Ͳ ² ’ ò Ͳ Ͳֲ - ( LV ) 2011 ISSN 20771827 371.13 74.202 . 94 - : / [ . . . .. ]. : , 2011. . LV.. . 313 . : , ( .. ) ...




( )
.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
׸


 
<<     |    
2013 www.uk.x-pdf.ru -