WWW.UK.X-PDF.RU

БЕЗКОШТОВНА ЕЛЕКТРОННА БІБЛІОТЕКА - Книги, видання, автореферати

 
<< HOME
CONTACTS




Продажа зелёных и сухих саженцев столовых сортов Винограда (по Украине)
Тел.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
Розовые сорта
Белые сорта
Чёрные сорта
Вегетирующие зелёные саженцы

Продажа зелёных и сухих саженцев столовых сортов Винограда (по Украине)
Тел.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
Розовые сорта
Белые сорта
Чёрные сорта
Вегетирующие зелёные саженцы

«УДК 621.382.002 ISSN 1729-4428 С.П. Новосядлий, В.М. Бережанський, В.М. Вівчарук Шляхи підвищення електрофізичних параметрів підзатворного діелектрика в субмікронних структурах ...»

ФІЗИКА І ХІМІЯ ТВЕРДОГО ТІЛА PHYSICS AND CHEMISTRY OF SOLID STATE

Т. 11, № 4 (2010) С. 928-934 V. 11, № 4 (2010) P. 928-934

УДК 621.382.002 ISSN 1729-4428

С.П. Новосядлий, В.М. Бережанський, В.М. Вівчарук

Шляхи підвищення електрофізичних параметрів підзатворного

діелектрика в субмікронних структурах Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника, вул. Шевченка, 57, м. Івано-Франківськ, 76018, Україна, berezhansky@mail.ru З ростом степені інтеграції великих інтегральних схем знижується товщина підзатворного діелектрика їх структур. Це вимагає адекватних конструкторсько-технологічних рішень на збереження високих пробивних напруг та зниження зарядового стану як на межі Si-SiO2, так і в самому діелектрику. Дана робота вказує шляхи покращення електрофізичних параметрів і термопольової стабільності підзатворного діелектрика, сформованого процесами його нітридизації та легування.

Ключові слова: багатозарядна імплантація, МОН-структура, підзатворний діелектрик, нітридизація.

Стаття поступила до редакції 15.07.2010; прийнята до друку 15.09.2010.

імплантацією азоту N+, N++;

Вступ

5. Високотемпературним формуванням підзатворного діелектрика в сухому кисні та В останні роки особлива увага надається легуючої домішки у вигляді хлорних сполук процесам нітридизації та легування підзатворного рідкісноземельних металів (HoCl3, LaCl3, YCl3 та діелектрика як найбільш технологічних операцій при інших). Як бачимо фізика всіх процесів є різною, формуванні МОН-структур субмікронного діапазону тому і вплив на електрофізичні параметри [1,2,3]. В процесі нітридизації діоксиду кремнію підзатворного діелектрика буде різним. Ці питання і утворюється оксинітридна плівка SixOyNz, яка має є предметом досліджень, виконаних в даній статті.

ряд переваг в порівнянні із термічними плівками SiO2: високий дифузійний опір проникнення різного роду домішок (відіграє роль мембрани) [1,2], високі і I. Методика експерименту однорідні значення напруги пробою [1,4,7], висока радіаційна

–  –  –

( ) (2 Ф ) (1,5%);

–  –  –

[1] С.П. Новосядлий, Фізико-технологічні основи субмікронної технології ВІС,-Івано-Франківськ: Сімик, 2003, 351с.

[2] С.П. Новосядлий, В.М. Бережанський, Дослідження термічних напружень в субмікронних структурах ВІС // Фізика і хімія твердого тіла – 7(4) – сс. 771-775 (2006).

[3] С.П. Новосядлий, Р.І. Запухляк, П.І. Мельник, Прогнозування надійності структур ВІС за допомогою імпульсних нерівноважних вольт-фарадних характеристик // Фізика і хімія твердого тіла, 6(1) сс.153-160 (2005).

Нитрид кремния в электронике // Под ред. Романова А.В. Новосибирск: Наука, 1982, 200с.

[4] А.Ф. Андреева, М.А. Гильман, М.Д. Сигалин, Перспектива применения пленок оксидов редкоземельных [5] металлов в оптической и электронной промышленности // В книге: Получение и свойства тонких пленок Киев:ИПМ АНУССР, сс.154-159 (1987).

Ш.Д. Кумашов, И.М. Викулин, С.В. Ленков, Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных [6] элементов в качестве диэлектрика // Технология и конструирование в электронной аппаратуре 6(11-12) сс.6-8, (2001).

[7] R.P. Vasquez, A Madhukar, F.J. Grunthaner, M.L. Naiman // J. Appl. Phys. 60 (1) pp.226-229, (1986).

Б. Данилин, Реактивная полная имплантация как метод создания структур // Зарубежная электронная [8] техника, 4 – сс.62-80, (1986).

[9] B.E. Deal, Standardized Terminology for oxide charges associated with thermally oxidized silicon // IEEE Trans.

Electron Devices, 27 – pp.606-610, (1980).

Д.И. Чернябрыкин, В.В. Бахтипов, Диэлектрические свойства пленок окислов редкоземельных элементов [10] // В книге: Диэлектрики – Киев: Изд-во КПУ, сс.96-100, (1991).

–  –  –

Methods of Increase Electro-Physical Parameters of Gate Dielectric in Submicrometer Structures VLSI Vasyl Stefanyk Precarpathian National University, Shevchenko st., 57, Ivano-Frankivsk, 76000, Ukraine, berezhansky@mail.ru The thickness gate dielectric IC structures goes down with growth degrees of integration of large-scale. This work specifies the ways of improvement of electro-physical parameters and termopolarity stability of gate dielectric, formed the processes of him nitrodizing and doping..



 
Похожие работы:

«ФОРМУВАННЯ ПРОФЕСІЙНИХ ТА ОСОБИСТИХ РИС ХАРАКТЕРУ МАЙБУТНІХ ФАХІВЦІВ ЗДОРОВ’Я Юрій Степанюк Міжнародний економіко-гуманітарний університет імені академіка Степана Дем’янчука Актуальність. У статті розглядається дослідження питання особистого прикладу фахівців здоров’я у їх діяльності в закладах фізичної реабілітації та набуття ними необхідних професійних та особистих рис характеру за допомогою традиційних ведичних (древньоіндійських) знань, таких як Аюрведа та Бгаґаватапурана, які містять у...»

«[КНИГА ДОСЯГНЕНЬ] 2011/2012 н.р. Щур Ольга Володимирівна, випускниця Дубровицького НВК «Ліцей-ЗОШ І-ІІ ст.», переможниця всеукраїнського етапу конкурсузахисту науково-дослідницьких робіт МАН(ІІІ місце), обласного етапу Всеукраїнський учнівських предметних олімпіад з математики (ІІ місце). Продовжила свою науково-дослідницьку діяльність, як студент Національного університету ім. Т.Г.Шевченка на факультеті фізики. Захоплюється музикою. Кушнір Володимир Володимирович, директор Дубровицького НВК...»

«Міністерство освіти і науки України Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Методичні вказівки до виконання лабораторних робіт з курсу  “Молекулярна фізика”  для студентів першого курсу фізико­технічного факультету ХАРКІВ­2005 Міністерство освіти і науки України Харківський національний університет ім. В.Н. Каразіна Навчальне видання Методичні вказівки до виконання лабораторних робіт  з курсу “Молекулярна фізика” для студентів першого курсу  фізико­технічного факультету...»

«Бугаєвський О.А, Дрозд А.В., Науменко В.А., Юрченко О.І Лабораторний практикум з аналітичної хімії Навчальний посібник Затверджено УМЦ ХДУ протокол № 27 від 20. 10. 1998 Харків 1998 Міністерство освіти України УДК 54 Бугаєвський О. А., Дрозд А. В. Науменко В. А., Юрченко О. І. Лабораторний практикум з аналітичної хімії / Під редакцією О.А.Бугаєвського і А.В.Дрозда. Харків: ХДУ, 1998. — 140 с. ISBN 966-03-0562В навчальному посібнику наведені лабораторні роботи з кількісного аналізу класичними та...»




Продажа зелёных и сухих саженцев столовых сортов Винограда (по Украине)
Тел.: (050)697-98-00, (067)176-69-25, (063)846-28-10
Розовые сорта
Белые сорта
Чёрные сорта
Вегетирующие зелёные саженцы


 
2013 www.uk.x-pdf.ru - «Безкоштовна електронна бібліотека»